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氦質譜檢漏儀 MOCVD 設備檢漏
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氦質譜檢漏儀 MOCVD 設備檢漏

湖北快3预测一定牛走势图 www.kfhos.icu 上海伯東德國 Pfeiffer 氦質譜檢漏儀 MOCVD 設備檢漏
上海伯東客戶廈門某大型 LED 生產企業,近日成功采購6臺氦質譜檢漏儀 ASM 340 用于 MOCVD 設備檢漏。
MOCVD 是在氣相外延生長(VPE)的基礎上發展起來的一種新型氣相外延生長技術。因為 MOCVD 生長使用的源是易燃、易爆、毒性很強的物質,因此在設備出廠時必須要考慮密封性,否則一旦有毒物質泄漏,后果不堪設想!
上海伯東客戶某大型 LED 生產企業 MOCVD 設備檢漏實例:
MOCVD 需要檢漏位置:所有懷疑有漏的地方都需要進行檢漏,主要檢漏源供給、輸運和尾氣處理系統(例如管路接頭、管道、焊縫等位置)。
根據客戶實際需要,MOCVD 檢漏基本配置:氦質譜檢漏儀 ASM 340 +干式真空泵 ACP 28 如下圖所示:
伯東Pfeiffer MOCVD設備檢漏

MOCVD設備檢漏方法:采用真空模式檢漏
1. 將設備通過波紋軟管連接檢漏儀 ASM 340,確認連接完畢
2. 啟動 ASM 340,進入待機界面;初次啟動時間大約 3min,以后啟動 < 1min
3. 按下開始鍵,先通過 bypass 閥門啟動干式真空泵 ACP 28抽真空,到達一定壓力檢漏儀 ASM 340開始工作,同時在設備懷疑有漏的地方噴氦氣;若有漏,檢漏儀馬上報警,顯示該噴射點有漏。
4. 檢測完畢,按下檢漏儀待機鍵,放氣、關閉電源,移除連接管路。
* 鑒于信息保密,更詳細的MOCVD設備檢漏方法歡迎致電 021-5046-3511

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